【低温等离子体】低温等离子体是一种在较低温度下产生的等离子体状态，广泛应用于材料处理、表面改性和环保技术等领域。它由电子、离子和中性粒子组成，具有高反应活性和可控性。
| 特性 | 说明 |
| 温度 | 气体温度接近室温，电子温度较高 |
| 成分 | 含有电子、离子、自由基等 |
| 应用 | 表面清洗、薄膜沉积、废气处理 |
| 优势 | 能耗低、环境友好、工艺灵活 |
低温等离子体技术因其高效、节能和环保的特点，成为现代工业中的重要工具。通过调节参数，可实现对材料表面的精确修饰，提升产品性能。
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